青岛双益真空镀膜有限公司

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青岛真空镀膜和光学镀膜有什么不同

要想了解青岛真空镀膜和光学镀膜有什么区别首先要分清楚什么是真空镀膜,什么是光学镀膜。

   一、首先我们先从概念上区别一下什么是真空镀膜什么是光学镀膜

   1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如,真空镀铝、真空镀铬等。

   2、光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。

   二、其次是原理上的的区别跟差异

   1、青岛真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法。

   2、光的干涉在薄膜光学中广泛应用。光学薄膜技术的普遍方法是借助真空溅射的方式在玻璃基板上涂镀薄膜,一般用来控制基板对入射光束的反射率和透过率,以满足不同的需要。为了消除光学零件表面的反射损失,提高成像质量,涂镀一层或多层透明介质膜,称为增透膜或减

   随着激光技术的发展,对膜层的反射率和透过率有不同的要求,促进了多层高和宽带增透膜的发展。为各种应用需要,利用高制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉滤光片等。光学零件表面镀膜后,光在膜层层上多次反射和透射,形成多光束干涉,控制膜层的折射率和厚度,可以得到不同的强度分布,这是干涉镀膜的基本原理。

   三、再一个区别是方法和材料上的区别

   1、青岛真空镀膜的方法材料:

   (1)阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰性气体(如氩)通入已抽空的室内,保持压强约1.33~13.3Pa,然后将阴极接上2000V的直流电源,便激发辉光放电,带正电的氩离子撞击阴极,使其射出原子,溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基体上形成膜。

   (2)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气达到约13.3Pa而使蒸气分子飞到基体表面,凝结而成薄膜。

   (3)化学气相沉积:通过热分解所选定的金属化合物或有机化合物,获得沉积薄膜的过程。

   (4)离子镀:实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀的有机结合,兼有两者的工艺特点。表6-9列出了各种镀膜方法的优缺点。

   2、光学镀膜方法材料

   (1)无色透明晶体,熔点高,硬度大,化学稳定性好。纯度高,用其制备高质量Si02镀膜,蒸发状态好,不出现崩点。按使用要求分为紫外、红外及可见光用。

   (2无色四方晶系粉末,纯度高,用其制备光学镀膜可提高透过率,不出崩点。

   (3)氧化锆:白色重质结晶态,具有高的折射率和耐高温性能,化学性质稳定,纯度高,用其制备高质量氧化锆镀膜,不出崩点。

   青岛真空镀膜 主要利用将氩气(Ar)离子撞击靶材(target)表面,靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜。溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜来的好,但是镀膜速度却比蒸镀慢很多。新型的溅镀设备几乎都使用将电子成螺旋状运动以加速靶材周围的氩气离子化,造成靶与氩气离子间的撞击机率增加,

   提高溅镀速率。一般金属镀膜大都采用直流溅镀,而不导电的陶磁材料则使用RF交流溅镀,基本的原理是在真空中利用(glowdischarge)将氩气(Ar)离子撞击靶材(target)表面,电浆中的阳离子会加速冲向作为被溅镀材的负电极表面,这个冲击将使靶材的物质飞出而沉积在基板上形成薄膜。

   一般来说,利用溅镀制程进行薄膜披覆有几项特点:

   (1)金属、合金或绝缘物均可做成。

   (2)再适当的设定条件下可将多元复杂的靶材制作出同一组成的薄膜。

   (3)利用放电气氛中加入氧或其它的活性气体,可以制作靶材物质与气体分子的混合物或化合物。

   (4)靶材输入电流及溅射时间可以控制,容易得到高精度的膜厚。

   (5)较其它制程利于生产大面积的均一薄膜。

   (6)溅射粒子几不受重力影响,靶材与基板位置可自由安排。

   (7)基板与膜的附着强度是一般蒸镀膜的10倍以上,且由于溅射粒子带有高能量,在成膜面会继续表面扩散而得到硬且致密的薄膜,同时此高能量使基板只要较低的温度即可得到结晶膜。

   (8)薄膜形成初期成核密度高,可生产10nm以下的极薄连续膜。

   (9)靶材的寿命长,可长时间自动化连续生产。

   靶材可制作成各种形状,配合机台的特殊设计做更好的控制及最有效率的生产。

   综上所述,青岛真空镀膜和光学镀膜的加工工艺都处于高度发展中,每一种加工工艺都有着自身的优点,合理利用每一种工艺会让工作效率大大提高。